Ultradünnglas: Kundensubstrate erfolgreich prozessiert!

Testen nach Maß: Stück um Stück, Probe um Probe

Das adSphere-Team beherrscht die Prozesse um das Handling von Ultradünnglas von der Rolle dergestalt, dass für Testzwecke Proben von nur 1 bis 2m prozessiert und aus der Rolle entnommen werden können.
Aus einer 20m langen UTG-Substratbahn werden so bis zu 10 Einzelproben mit vollkommen unterschiedlichen Prozessparametern gewonnen.

Das dabei verwendete kompakte Prozessmodul FPM330X (Hersteller: Adenso Industrial Services GmbH) ermöglicht entsprechend kurze Zykluszeiten: 20min Pumpdown und nur 1min Belüftung – so dass 10 Einzelproben an einem einzigen Prozesstag zu schaffen sind inklusive der jeweiligen Auswertung der Zwischenergebnisse zur Optimierung der Parameter für den nachfolgenden Prozess.

Art und Aufbau der Prozesse erfolgt jeweils kundenspezifisch – die erforderlichen Komponenten werden in das Prozessmodul implementiert.
Unsere Kunden sind von diesem – bislang ungekannten – äußerst wirtschaftlichen Umgang mit diesem sensiblen Material sehr begeistert, da die Verfügbarkeit aktuell noch sehr beschränkt ist.

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